12月15日，在2021年中国半导体设备年会暨重庆半导体产业创新发展论坛（第九届）上，中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠发表了题为《中国半导体设备回顾与展望》的演讲。

金存忠指出，2020年，特如其来的新冠肺炎疫情使中国半导体设备行业经历了前所未有的挑战，而在中国迅速战胜了疫情，中国半导体设备行业在国内投资的集成电路生产企业量产后加速扩产和国家光伏发电政策的推动下，获得了较快的发展机遇，呈现了继续快速发展的态势。

据中国电子专用设备工业协会统计，中国大陆56家主要半导体设备制造商在2020年完成半导体设备销售收入242.90亿元，同比增长38.7%；总利润为51.92亿元，同比增长80.5%。其中，集成电路设备总销售收入为96.77亿元，同比增长59.0%。

金存忠表示，2020年中国半导体设备销售收入前10家单位完成销售收入192.12亿元，占56家半导体设备制造商销售收入总额的79.1%。在前10家单位中，北方华创以43.91亿元的销售收入排在第一位，同比增长54.5%。

在2021年上半年的销售收入排名前10的半导体设备公司中，北方华创仍然以27.35亿元排在首位。另外，华峰测控也以3.24亿元的销售收入跻身前10榜单。

金存忠表示，国产设备不仅销售额和利润正在快速增长，在创新层面也不断有新的产品进入产业化阶段，例如北方华创的12英寸电感道等离子体干法金属刻蚀机、盛美股份的3D硅通孔电镀设备、中微股份的深紫外LED MOCVD设备等。

不过，金存忠也指出，国产设备在全球范围内市场占有率仍然较低，且在国内的市占率提升缓慢。2020年中国半导体设备（56家）在全球市场占有率仅为5.2%，在中国大陆市场占有率也只有17.3%，与2019年基本相同。

另外，国产设备在集成电路关键领域仍需依赖进口。金存忠表示，虽然已经有国产光刻机研制成功，但相关产品目前尚未进入集成电路晶圆量产生产线。而在已经进入晶圆量产生产线的国产设备中，晶圆制造量测设备、化学气相沉积设备、离子注入机、引线键合设备、探针测试台与国际同类设备都还有较大差距，市场占有率较低。（校对/落日）

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